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由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無(wú)刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過(guò)減少電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用過(guò)程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
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使用交流伺服電機(jī)，因此無(wú)刷，因此在潔凈室中污染良好，通過(guò)降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布機(jī).com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機(jī)，因此無(wú)刷，因此在潔凈室中污染良好，通過(guò)降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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光刻.com從旋涂機(jī)（涂布機(jī)）到掩模對(duì)準(zhǔn)器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實(shí)驗(yàn)室機(jī)器。 此外，作為測(cè)量，我們還處理各種測(cè)量機(jī)，用于薄膜厚度測(cè)量、階梯測(cè)量、線寬和形狀測(cè)量。
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